（1）高（超）纯水
自来水→预处理→阴阳离子交换→水箱→泵→超滤→紫外线杀菌→混合床或精制混合床→0.22μm微孔滤膜→真空灌装
其中预处理可能是单一的一套设备，但通常是由双层细滤料过滤器与活性炭吸附过滤器等组合而成，对于一般要求的高纯水，可省去超滤装置或把超滤改成1μm的微滤。
（2）纯水
自来水→深度预处理→超滤或反渗透→紫外线杀菌→混床→真空灌装
其中深度预处理一般由双层细滤料过滤、活性炭吸附过滤和精密过滤器三套设备组合而成，也可以采用其他组合，目的是把自来水进行深度处理；深度处理后的阴阳离子交换、反渗透、超滤三种中任选一种即可，前者是用阴离子和阳离子树脂进行离子交换，反渗透属于膜分离技术，除去水中阴离子、阳离子、杂质、有机物而得到纯水，装置主要分为卷式和中空纤维式两种，目前采用反渗透法较多，其次是超滤，对纯水要求高可以采用紫外线杀菌后的阴离子、阳离子交换混合床，目前用饮用水的纯水，这级混合床一般不采用，杀菌后直接真空灌装。